① 降温：预处理活化完成后，在“预处理活化气G1”氛围下降温至“吸附温度T2 ”；【平均30min】
② 化学吸附：在”吸附温度T2“ 下通入流量为30sccm的“吸附质气体G2”“吸附时长t2”【平均30min】；
③ 去除物理吸附状态的 “吸附质气体G2”：通入流量为30sccm的“预处理活化气G1”经过“吹扫时长t3”,至基线稳定。【平均60min】；
④ 程序升温脱附TPD：以“5℃/min”的升温速率程序升温至“程序升温目标温度T3”，得到数据曲线。【平均90min】
⑤ 重复以上①、②、③步骤，然后分别以10℃/min、15℃/min、20℃/min、25℃/min的升温速率重复以上TPD测试过程，测试出不同升温速率下的TPD曲线进行拟合，计算得到脱附动力学参数。
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带下划线突出字体部分需要设定，见如下设置项。预处理活化气G1