① 降温:预处理活化完成后,在“预处理活化气G1”氛围下降温至“吸附温度T2 ”;【平均30min】
② 化学吸附:在”吸附温度T2“ 下通入流量为30sccm的“吸附质气体G2”“吸附时长t2”【平均30min】;
③ 去除物理吸附状态的 “吸附质气体G2”:通入流量为30sccm的“预处理活化气G1”经过“吹扫时长t3”,至基线稳定。【平均60min】;
④ 程序升温脱附TPD:分别以“升温速率β”的升温速率程序升温至“程序升温目标温度T3”,测试出不同升温速率下的TPD曲线,通过升温速率与TPD曲线中峰值温度拟合计算得到脱附动力学参数。【平均90min】
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带下划线突出字体部分需要设定,见如下设置项。预处理活化气G1